菲希爾膜厚測試儀簡單介紹
可實現(xiàn)對測定樣品的高分辨,、實時,、彩色圖 像觀測。
自由距離測量DIM:更靈活地測量不規(guī)則樣品(凹凸),。
一體機工作站式設(shè)計,,簡化設(shè)備安裝,, 減少占用空間。
膜厚測試儀技術(shù)參數(shù):元素范圍: Ti22 – U92 同時分析層數(shù)和元素定量:5層(4層+基體),;
最多同時15種元素定量
X射線激發(fā): 100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管(可選鉬靶X射線管)
X射線檢測: 高分辨封氣 (Xe)正比計數(shù)器,,靈敏度高,可最多裝備3種二次濾光片
準(zhǔn)直器: 單準(zhǔn)直器或多準(zhǔn)直器系統(tǒng),,準(zhǔn)直器系統(tǒng)最多可安裝4種規(guī)格的準(zhǔn)直器,,備有各種規(guī) 格準(zhǔn)直器(0.015mm-0.5mm)圓形或矩形供客戶選用
膜厚測試儀優(yōu)點
> 采用國際上最先進的、穩(wěn)定性最好的射線源,,體積小,,使用壽命長,易維護,。
> 設(shè)備結(jié)構(gòu)簡潔,、操作簡單、部件更換快速,、簡單,,便于維護。
> 快速多點校正法技術(shù)保證了系統(tǒng)的長期精度,。
> 快速,、連續(xù)、非接觸測量,、實時顯示高精度測量值,。
> 操作站:提供中英文操作界面(Win2000)。采用web以太網(wǎng)平臺,,使用最新的JAVA 技術(shù),。
> 采用雙放大技術(shù)和獨特大電離室,提升測量范圍及精度,。
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